Статья 1668

Проблема конденсаторов может быть разрешена двояко, если их емкость велика, более 1000 пФ, то обычно их делают навесными или предусматривают возможность внешней установки.
Небольшие конденсаторы могут изготовляться в общем технологическом процессе. При этом на слой проводника напыляют слой диэлектрика, поверх которого напыляют еще один слой проводника - вторую пластину плоского конденсатора. В качестве изолятора используют обычно моноокись кремния, дающую при толщине пленки 0,1 мкМ.
Другая возможность - использование тантала и его сплавов или соединений. Эти вещества позволяют получать удельную емкость до 10-10 Ф-мм2 и даже более. Однако по другим параметрам такие конденсаторы много хуже, чем конденсаторы на основе моноокиси кремния.
Индуктивности являются наиболее трудной проблемой для микроэлектроники, и их стараются исключить. В высокочастотных схемах их иногда изготовляют в виде спиралей из проводника на подложках.